-
1. Data: 2024-04-28 19:22:10
Temat: Lustra w maszynie ASML
Od: Janusz <j...@o...pl>
To technologia kosmiczna a nawet wiecej, dokładność powierzchni wynosi
50pm dla lustra o średnicy 450mm, aby mieć świadomość wyzwania przed
jaki stanęli w Carl Zeiss to można sobie uświadomić tak że atom helu ma
średnicę 62pm a jakby powiększyć lustro do wielkości USA około 4500km to
max 'górka' to 0.4um :)
https://www.youtube.com/watch?v=V__HbVlnICc
--
Janusz
-
2. Data: 2024-04-28 19:50:12
Temat: Re: Lustra w maszynie ASML
Od: Janusz <j...@o...pl>
W dniu 28.04.2024 o 19:22, Janusz pisze:
> To technologia kosmiczna a nawet wiecej, dokładność powierzchni wynosi
> 50pm dla lustra o średnicy 450mm, aby mieć świadomość wyzwania przed
> jaki stanęli w Carl Zeiss to można sobie uświadomić tak że atom helu ma
> średnicę 62pm a jakby powiększyć lustro do wielkości USA około 4500km to
> max 'górka' to 0.4um :)
Pomylił się, 0.5mm ale to i tak kosmos.
>
> https://www.youtube.com/watch?v=V__HbVlnICc
>
--
Janusz
-
3. Data: 2024-04-29 09:02:14
Temat: Re: Lustra w maszynie ASML
Od: nadir <n...@h...org>
W dniu 28.04.2024 o 19:22, Janusz pisze:
> To technologia kosmiczna a nawet wiecej, dokładność powierzchni wynosi
> 50pm dla lustra o średnicy 450mm, aby mieć świadomość wyzwania przed
> jaki stanęli w Carl Zeiss to można sobie uświadomić tak że atom helu ma
> średnicę 62pm a jakby powiększyć lustro do wielkości USA około 4500km to
> max 'górka' to 0.4um :)
>
> https://www.youtube.com/watch?v=V__HbVlnICc
Czym to czyścić?
-
4. Data: 2024-04-29 18:22:49
Temat: Re: Lustra w maszynie ASML
Od: Janusz <j...@o...pl>
W dniu 29.04.2024 o 09:02, nadir pisze:
> W dniu 28.04.2024 o 19:22, Janusz pisze:
>> To technologia kosmiczna a nawet wiecej, dokładność powierzchni wynosi
>> 50pm dla lustra o średnicy 450mm, aby mieć świadomość wyzwania przed
>> jaki stanęli w Carl Zeiss to można sobie uświadomić tak że atom helu
>> ma średnicę 62pm a jakby powiększyć lustro do wielkości USA około
>> 4500km to max 'górka' to 0.4um :)
>>
>> https://www.youtube.com/watch?v=V__HbVlnICc
>
> Czym to czyścić?
>
W zasadzie w ogóle nie czyszczą, jest nadmuchiwany wodór aby związać
cynę a po 3000 godzin jest wymiana na nowe. Stare jest pewnie albo
trawiona ta cyna i polerowane albo szlifowanie i nakładanie warstw
odblaskowych od nowa i polerka.
--
Janusz
-
5. Data: 2024-04-30 10:15:12
Temat: Re: Lustra w maszynie ASML
Od: "J.F" <j...@p...onet.pl>
On Sun, 28 Apr 2024 19:22:10 +0200, Janusz wrote:
> To technologia kosmiczna a nawet wiecej,
Zdecydowanie wiecej :-)
teraz w ogole wyznacznikiem jakosci jest technologia półprzewodnikowa
:-)
Ale wzorca kg z krzemu nie chca zrobic, a bylby taki piekny -
konkretna ilosc atomów, monokryształ taki, szescian czy inna figura,
o rozmiarach w atomach ... za to cos pisza o kuli.
> dokładność powierzchni wynosi
> 50pm dla lustra o średnicy 450mm, aby mieć świadomość wyzwania przed
> jaki stanęli w Carl Zeiss to można sobie uświadomić tak że atom helu ma
> średnicę 62pm a jakby powiększyć lustro do wielkości USA około 4500km to
> max 'górka' to 0.4um :)
Hm, internet twierdzi, ze atom helu ma 208 lub 260pm.
Ale moment - lustro zapewne zrobione z atomów krzemu i tlenu ...
> https://www.youtube.com/watch?v=V__HbVlnICc
I Chinczycy musza to jakos przeskoczyc ...
J.
-
6. Data: 2024-04-30 11:51:56
Temat: Re: Lustra w maszynie ASML
Od: Marcin Debowski <a...@I...zoho.com>
On 2024-04-30, J.F <j...@p...onet.pl> wrote:
> On Sun, 28 Apr 2024 19:22:10 +0200, Janusz wrote:
>> To technologia kosmiczna a nawet wiecej,
>
> Zdecydowanie wiecej :-)
>
> teraz w ogole wyznacznikiem jakosci jest technologia półprzewodnikowa
>:-)
>
> Ale wzorca kg z krzemu nie chca zrobic, a bylby taki piekny -
> konkretna ilosc atomów, monokryształ taki, szescian czy inna figura,
> o rozmiarach w atomach ... za to cos pisza o kuli.
>
>
>> dokładność powierzchni wynosi
>> 50pm dla lustra o średnicy 450mm, aby mieć świadomość wyzwania przed
>> jaki stanęli w Carl Zeiss to można sobie uświadomić tak że atom helu ma
>> średnicę 62pm a jakby powiększyć lustro do wielkości USA około 4500km to
>> max 'górka' to 0.4um :)
>
> Hm, internet twierdzi, ze atom helu ma 208 lub 260pm.
>
> Ale moment - lustro zapewne zrobione z atomów krzemu i tlenu ...
Czytam tę dyskusję i mam cholerny problem z tymi 50pm. To jest jakieś
0.5 do 0.25 długości wiązania kowalencyjnego. To co przepraszam, to
spolerowali wiązania do połowy? A jeszcze wiadomo, że na powierzchni
cząsteczki zachowują się inaczej niż w masie materiału bo nie są
ograniczone/przyciągane innymi cząsteczkami. A temperatura to są okolice
zera absolutnego dla tych 50pm? Przecież atomy w cząsteczce "wibruje" a
amplituda OIDP jest tego samego rzędu co długość wiązania.
https://asset-downloads.zeiss.com/catalogs/download/
smt/2f5250f6-00a1-4d8e-a468-6bf812335b10/high-na-euv
-optics_preparing-lithography-for-the-next-big-step.
pdf
Co prawda te 50pm to jest rms dla obszaru o średnicy 5mm, ale to nadal MZ
trudne do uwierzenia.
--
Marcin
-
7. Data: 2024-04-30 12:07:53
Temat: Re: Lustra w maszynie ASML
Od: "J.F" <j...@p...onet.pl>
On Tue, 30 Apr 2024 09:51:56 GMT, Marcin Debowski wrote:
> On 2024-04-30, J.F <j...@p...onet.pl> wrote:
>> On Sun, 28 Apr 2024 19:22:10 +0200, Janusz wrote:
>>> To technologia kosmiczna a nawet wiecej,
>>
>> Zdecydowanie wiecej :-)
>>
>> teraz w ogole wyznacznikiem jakosci jest technologia półprzewodnikowa
>>:-)
>>
>> Ale wzorca kg z krzemu nie chca zrobic, a bylby taki piekny -
>> konkretna ilosc atomów, monokryształ taki, szescian czy inna figura,
>> o rozmiarach w atomach ... za to cos pisza o kuli.
>>
>>
>>> dokładność powierzchni wynosi
>>> 50pm dla lustra o średnicy 450mm, aby mieć świadomość wyzwania przed
>>> jaki stanęli w Carl Zeiss to można sobie uświadomić tak że atom helu ma
>>> średnicę 62pm a jakby powiększyć lustro do wielkości USA około 4500km to
>>> max 'górka' to 0.4um :)
>>
>> Hm, internet twierdzi, ze atom helu ma 208 lub 260pm.
>>
>> Ale moment - lustro zapewne zrobione z atomów krzemu i tlenu ...
>
> Czytam tę dyskusję i mam cholerny problem z tymi 50pm. To jest jakieś
> 0.5 do 0.25 długości wiązania kowalencyjnego.
Cięższe atomy mniejsze ?
> To co przepraszam, to
> spolerowali wiązania do połowy? A jeszcze wiadomo, że na powierzchni
> cząsteczki zachowują się inaczej niż w masie materiału bo nie są
> ograniczone/przyciągane innymi cząsteczkami. A temperatura to są okolice
> zera absolutnego dla tych 50pm? Przecież atomy w cząsteczce "wibruje" a
> amplituda OIDP jest tego samego rzędu co długość wiązania.
>
> https://asset-downloads.zeiss.com/catalogs/download/
smt/2f5250f6-00a1-4d8e-a468-6bf812335b10/high-na-euv
-optics_preparing-lithography-for-the-next-big-step.
pdf
>
> Co prawda te 50pm to jest rms dla obszaru o średnicy 5mm, ale to nadal MZ
> trudne do uwierzenia.
Tez mnie ciekawi, no ale jak się mysli o technologii 1.6nm,
to lustra muszą być dokładne.
Swoją drogą - to znacznie mniej od długości fali światła.
Jak oni to zrobili ?
J.
-
8. Data: 2024-04-30 12:17:05
Temat: Re: Lustra w maszynie ASML
Od: Marcin Debowski <a...@I...zoho.com>
On 2024-04-30, J.F <j...@p...onet.pl> wrote:
> On Tue, 30 Apr 2024 09:51:56 GMT, Marcin Debowski wrote:
>> On 2024-04-30, J.F <j...@p...onet.pl> wrote:
>>> On Sun, 28 Apr 2024 19:22:10 +0200, Janusz wrote:
>>>> To technologia kosmiczna a nawet wiecej,
>>>
>>> Zdecydowanie wiecej :-)
>>>
>>> teraz w ogole wyznacznikiem jakosci jest technologia półprzewodnikowa
>>>:-)
>>>
>>> Ale wzorca kg z krzemu nie chca zrobic, a bylby taki piekny -
>>> konkretna ilosc atomów, monokryształ taki, szescian czy inna figura,
>>> o rozmiarach w atomach ... za to cos pisza o kuli.
>>>
>>>
>>>> dokładność powierzchni wynosi
>>>> 50pm dla lustra o średnicy 450mm, aby mieć świadomość wyzwania przed
>>>> jaki stanęli w Carl Zeiss to można sobie uświadomić tak że atom helu ma
>>>> średnicę 62pm a jakby powiększyć lustro do wielkości USA około 4500km to
>>>> max 'górka' to 0.4um :)
>>>
>>> Hm, internet twierdzi, ze atom helu ma 208 lub 260pm.
>>>
>>> Ale moment - lustro zapewne zrobione z atomów krzemu i tlenu ...
>>
>> Czytam tę dyskusję i mam cholerny problem z tymi 50pm. To jest jakieś
>> 0.5 do 0.25 długości wiązania kowalencyjnego.
>
> Cięższe atomy mniejsze ?
Powłoka na tych lustrach jest zdaje się cynowa. Atom cyny ma średnicę
coś ze 160pm. Wiązanie z tego co szukam, ale widzę tylko w kryształach,
w granicach 2-3A.
>> To co przepraszam, to
>> spolerowali wiązania do połowy? A jeszcze wiadomo, że na powierzchni
>> cząsteczki zachowują się inaczej niż w masie materiału bo nie są
>> ograniczone/przyciągane innymi cząsteczkami. A temperatura to są okolice
>> zera absolutnego dla tych 50pm? Przecież atomy w cząsteczce "wibruje" a
>> amplituda OIDP jest tego samego rzędu co długość wiązania.
>>
>> https://asset-downloads.zeiss.com/catalogs/download/
smt/2f5250f6-00a1-4d8e-a468-6bf812335b10/high-na-euv
-optics_preparing-lithography-for-the-next-big-step.
pdf
>>
>> Co prawda te 50pm to jest rms dla obszaru o średnicy 5mm, ale to nadal MZ
>> trudne do uwierzenia.
>
> Tez mnie ciekawi, no ale jak się mysli o technologii 1.6nm,
> to lustra muszą być dokładne.
>
> Swoją drogą - to znacznie mniej od długości fali światła.
> Jak oni to zrobili ?
Ja nie wiem co oni właściwie mierzą i jak bo w końcu te 50pm coś im
mierzy. "Micro Interferometer" się nazywa. Trochę ogólna nazwa.
--
Marcin
-
9. Data: 2024-04-30 12:42:36
Temat: Re: Lustra w maszynie ASML
Od: "J.F" <j...@p...onet.pl>
On Tue, 30 Apr 2024 10:17:05 GMT, Marcin Debowski wrote:
> On 2024-04-30, J.F <j...@p...onet.pl> wrote:
>> On Tue, 30 Apr 2024 09:51:56 GMT, Marcin Debowski wrote:
>>> On 2024-04-30, J.F <j...@p...onet.pl> wrote:
>>> To co przepraszam, to
>>> spolerowali wiązania do połowy? A jeszcze wiadomo, że na powierzchni
>>> cząsteczki zachowują się inaczej niż w masie materiału bo nie są
>>> ograniczone/przyciągane innymi cząsteczkami. A temperatura to są okolice
>>> zera absolutnego dla tych 50pm? Przecież atomy w cząsteczce "wibruje" a
>>> amplituda OIDP jest tego samego rzędu co długość wiązania.
>>>
>>> https://asset-downloads.zeiss.com/catalogs/download/
smt/2f5250f6-00a1-4d8e-a468-6bf812335b10/high-na-euv
-optics_preparing-lithography-for-the-next-big-step.
pdf
>>>
>>> Co prawda te 50pm to jest rms dla obszaru o średnicy 5mm, ale to nadal MZ
>>> trudne do uwierzenia.
>>
>> Tez mnie ciekawi, no ale jak się mysli o technologii 1.6nm,
>> to lustra muszą być dokładne.
>>
>> Swoją drogą - to znacznie mniej od długości fali światła.
>> Jak oni to zrobili ?
>
> Ja nie wiem co oni właściwie mierzą i jak bo w końcu te 50pm coś im
> mierzy. "Micro Interferometer" się nazywa. Trochę ogólna nazwa.
O lustrach to ja nie wiem, ale EUV uzywa promieniowania cyny
o długosci fali 13.5nm. Co jeszcze moze do 7nm pasuje,
ale teraz ma byc 1.6nm ... znow w wodzie, czy co?
A jak oni pozycjonują i chip i resztę ... są o tym kolejne filmy.
J.