b...@g...com wrote:

> Jak też: szerokość ścieżek w procesie jest ograniczona
> długością fali lasera, tj. nie może być mniejsza
> niż 1/2 czy 1/4 długości fali.

Okazuje się, że może, i to znacznie. Najnowsze chipy 14nm
wykonuje się tym samym ultrafioletem 193nm, co zawsze. Sztuczka
polega na wykonaniu "dziwnej" maski, szczegóły poniżej.

https://www.google.pl/url?sa=t&rct=j&q=&esrc=s&sourc
e=web&cd=4&cad=rja&uact=8&ved=0ahUKEwi3ppmajIfKAhWGq
nIKHRkOAXAQFgg9MAM&url=https%3A%2F%2Fwww.ll.mit.edu%
2Fpublications%2Fjournal%2Fpdf%2Fvol14_no2%2F14_2sub
wavelength.pdf&usg=AFQjCNFJMRDgRemoGNveEfKyXSGl4YG4T
w&sig2=t0BoiCO-tsG5AlhCjyfUng&bvm=bv.110151844,d.bGQ

> Widać jakoś przeskoczyli to ograniczenie.

Po prostu mądrzy ludzie się za to wzięli i doszli do wniosku,
że naiwnie rozumiana optyka klasyczna to nie jest ograniczenie
fizyczne, tylko koncepcyjne. Potem odkryli, jak konstruować
materiały o ujemnym współczynniku załamania (póki co tylko dla
mikrofal) i ograniczenie dyfrakcyjne praktycznie zniknęło.

https://en.wikipedia.org/wiki/Superlens

Pozdrawiam, Piotr