Re: Lustra w maszynie ASML - Grupy dyskusyjne w eGospodarka.pl

eGospodarka.pl › Grupy › pl.misc.elektronika › Lustra w maszynie ASML › Re: Lustra w maszynie ASML

Path: news-archive.icm.edu.pl!news.icm.edu.pl!newsfeed.pionier.net.pl!news.samoylyk.n
et!news.chmurka.net!.POSTED.h82-143-187-50-static.e-wro.net.pl!not-for-mail
From: "J.F" <j...@p...onet.pl>
Newsgroups: pl.misc.elektronika
Subject: Re: Lustra w maszynie ASML
Date: Tue, 30 Apr 2024 12:42:36 +0200
Organization: news.chmurka.net
Message-ID: <1qnyoha1rdebk$.1q4zqu4qb6qha.dlg@40tude.net>
References: <v0m0k3$jot$1$Janusz@news.chmurka.net>
<1i0d3w7on37ju$.1bguf5pqx2fba.dlg@40tude.net> <0b3YN.4$WbP9.2@fx13.ams1>
<1dme1im1l5z50.16efgmp4ha9bi$.dlg@40tude.net> <By3YN.4$rgUd.2@fx03.ams1>
NNTP-Posting-Host: h82-143-187-50-static.e-wro.net.pl
MIME-Version: 1.0
Content-Type: text/plain; charset="utf-8"
Content-Transfer-Encoding: 8bit
Injection-Info: news.chmurka.net; posting-account="jfoxwr";
posting-host="h82-143-187-50-static.e-wro.net.pl:82.143.187.50";
logging-data="24451";
mail-complaints-to="abuse-news.(at).chmurka.net"
User-Agent: 40tude_Dialog/2.0.15.1
Cancel-Lock: sha1:mNWmq1TLHkI/+5wIvmOZAkvlGU0=
sha256:wMhBvwilVdjmqWTSLexajhLlpFjNoHQ7NdWcAPl7YHs=
sha1:xrazf00l5rqvnor2iLt9yNK8r2U=
sha256:Wh9TKo0xyOmsmG0WfhD3pq9C+yLpCRJeRLfp5YgnHVc=
Xref: news-archive.icm.edu.pl pl.misc.elektronika:790958
[ ukryj nagłówki ]
On Tue, 30 Apr 2024 10:17:05 GMT, Marcin Debowski wrote:
> On 2024-04-30, J.F <j...@p...onet.pl> wrote:
>> On Tue, 30 Apr 2024 09:51:56 GMT, Marcin Debowski wrote:
>>> On 2024-04-30, J.F <j...@p...onet.pl> wrote:

>>> To co przepraszam, to
>>> spolerowali wiązania do połowy? A jeszcze wiadomo, że na powierzchni
>>> cząsteczki zachowują się inaczej niż w masie materiału bo nie są
>>> ograniczone/przyciągane innymi cząsteczkami. A temperatura to są okolice
>>> zera absolutnego dla tych 50pm? Przecież atomy w cząsteczce "wibruje" a
>>> amplituda OIDP jest tego samego rzędu co długość wiązania.
>>>
>>> https://asset-downloads.zeiss.com/catalogs/download/
smt/2f5250f6-00a1-4d8e-a468-6bf812335b10/high-na-euv
-optics_preparing-lithography-for-the-next-big-step.
pdf
>>>
>>> Co prawda te 50pm to jest rms dla obszaru o średnicy 5mm, ale to nadal MZ
>>> trudne do uwierzenia.
>>
>> Tez mnie ciekawi, no ale jak się mysli o technologii 1.6nm,
>> to lustra muszą być dokładne.
>>
>> Swoją drogą - to znacznie mniej od długości fali światła.
>> Jak oni to zrobili ?
>
> Ja nie wiem co oni właściwie mierzą i jak bo w końcu te 50pm coś im
> mierzy. "Micro Interferometer" się nazywa. Trochę ogólna nazwa.

O lustrach to ja nie wiem, ale EUV uzywa promieniowania cyny
o długosci fali 13.5nm. Co jeszcze moze do 7nm pasuje,
ale teraz ma byc 1.6nm ... znow w wodzie, czy co?

A jak oni pozycjonują i chip i resztę ... są o tym kolejne filmy.

J.